加工范围从几十微米到几百微米。。 1.、
、X\Y轴：IC系列有铁芯电机，，重复精度±1μm
，
，，定位精度3μm。。
。。 2、
、Z 轴
：AKM伺服电机+丝杆+光栅闭环。。
。
。重复定位±2μm,定位精度5μm。。。 3、、、AKD系列驱动器 此类产品会用到IL系列直线电机等产品
。
。。
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低速平稳性
，，实现纳米级的速度波动，，，大大提升零件表面的光洁度，，，主要用于高端光学器件的表面加工。。 此类产品会⽤到IL系列直线电机等产品。。。
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